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　　至纯科技10月10日在互动平台表示，公司三季度半导体设备的产能正在按今年的扩产计划逐步提高中，预计年底产能可达150台。晶圆再生业务今年度将产生部分收入。

（文章来源：界面新闻）

文章来源：界面新闻

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